早期的透鏡放大倍數只有2~3倍,也許可以幫助視力不好的人看清楚字跡,但是我們離看到原子和分子還差得遠。因此,我們需要新的工具。最先做出突出成績的是羅伯特·胡克(Robert Hooke),那位曾與牛頓打得天翻地覆的科學家。羅伯特·胡克不僅是一位造詣高深的理論學家,他發明了胡克定律,而且對行星引力平方反比定律做出了貢獻,他還是一位制作精密儀器的高手。他在1665年發表了著作《顯微圖片:或關于使用放大鏡對微小實體作生理學描述》(Microphagia: or Some PhysiologicalDescriptions of Miniature Bodies Made by Magnifying Glasses),在這本書里,他向讀者展示了一個紛繁復雜又奇妙無比的微觀世界。羅伯特·胡克在植物身上發現了很多小空洞,并講這些空洞命名為:細胞(cell)。他計算出一平方厘米軟木片上大約包含有195255750個空洞,如此巨大的數字在當時的科學界還是極其罕見的。羅伯特·胡克在微觀世界上的突出貢獻完全歸功于他高超的顯微鏡制作技巧,以及那一臺可以放大到30倍的顯微鏡,這一放大倍數在當時的光學界被認為是鶴立雞群的。
上述這些信號都被用來分析物質,但是有一些是偏重于元素的(背散射電子、特征X射線以及俄歇電子),而二次電子和透射電子則是對被測物質的形貌非常敏感的,所以他們也就被用來放大觀測微觀物體。電子顯微鏡根據接收信號的不同可以分為掃描電子顯微鏡(scanning electron microscope)和透射電子顯微鏡(transmission electron microscope)兩大類,其中掃描電鏡靠二次電子觀察形貌,而透射電鏡則利用透射電子。
掃描電鏡使用二次電子為觀測信號,二次電子能量極低,只可以從樣品表面小于10nm的范圍內激發而出,這就使得掃描電鏡只能觀察到樣品表面的形貌,而無法獲得樣品整個的結構信息。另外由于掃描電鏡無需穿透樣品,所以加速電壓相對較小(小于30 kV),這使得掃描電鏡的光斑相對較大,無法獲得極高的分辨率。一般普通的掃描電鏡的放大倍數不超過100萬倍,分辨率大致在幾百納米的尺度上。而場發射掃描電鏡(field emission scanning electron microscope,FESEM)可以有效地提高加速電壓以聚攏光斑,這就讓我們可以獲得更大的放大倍數(一般小于150萬倍),并可以看到10~20nm左右的顆粒。150萬倍的放大倍數足夠我們勉強看到比較大一些的分子(晶胞)了,但是距離要看到原子所需要的200萬到300萬倍,還有最后一段最艱難的路要走。
雖然掃描隧道顯微鏡可以有效地看到單個原子并操縱它們,但是掃描隧道顯微鏡只能用來觀察導體,半導體的效果就很差了,而絕緣體則完全無法觀測。為了彌補這一缺陷,發明了掃描隧道顯微鏡的格爾德·賓尼希再接再厲,在1985年發明了原子力顯微鏡(atomic force microscope,AFM)。原子力顯微鏡的原理與掃描隧道顯微鏡大致相同,都是通過探針和原子表面發生相互作用。但是最大的區別在于,原子力顯微鏡采用了原子間的相互作用(如范德華力)作為信號進行收集,而非隧道電流,這就使得原子力顯微鏡可以觀察諸如陶瓷的絕緣體。